Re: EUV - bylo Elektronika pro domácího lékaře

[Pavel Hudeček]

V rtg difraktometrii (XRD) se běžně používají různé monochromátory, je 
to docela zajímavá technologie. V tom bych problém neviděl.

Ale je dobré si uvědomit, že účinnost rengenky se dramaticky zhoršuje s 
klesajícím napětím, normálně je to s U^2. Takže např. rengenky na XRD 
využívající píky molybdenu na 17 a 19 keV je vhodné napájet 30-80 kV. 
Ale u menších napětí je ještě nějaký další jev, takže když na rengenu 
nastavíte třeba 16 kV, neleze z něj skoro nic, i když má Be okýnko, 
kterým by i pár keV mělo v pohodě projít.

Jinak ta účinnost je cekově nic moc. Mějme třeba W:

https://slidetodoc.com/xrays-ouch-1-xrays-xrays-are-produced-when/

No a EUV oblast, to je tak 10-100 eV. Zjednodušeně vzato, by to měla v 
pohodě generovat každá běžná elektronka při pár stovkách V, což by 
následně fotoefektem generovalo elektrony na mřížkách i anodě a taky 
ničilo sklo. V reálu se to ale neděje.

Samozřejmě, parazitně bude EUV vznikak v rengence při normálních 
napětích, ale moc si nedovedu představit, co by pak zlikvidovalo X a 
propustilo EUV.

PH

Dne 04.01.2022 v 1:21 Petr Labaj napsal(a):
> Aha.
> Pak už to s tou nepoužitelností rentgenky dává smysl.
> Děkuji.
>
> PL
>
> *******************
>
> Dne 4.1.2022 v 1:14 Jan Waclawek napsal(a):
>> Tie EUV masky su interferencne inak - ciara je tu sice vacsia ako 
>> vlnova dlzka, ale masky su reflektivne a tvorene Braggovym zrkadlom, 
>> co je viacvrstvova struktura ktora sa vdaka interferencii sprava ako 
>> zrkadlo.
>>
>> Neviem preco sa nepouzivaju kovove zrkadla.
>>
>> wek
>>
>> On 4 January 2022 01:09:56 CET, Petr Labaj <labaj na volny.cz> wrote:
>>
>>     Díky za odpověď.
>>     Ale nepoužívají se ty interferenční masky jen pro ty technologie, 
>> kdy se
>>     "dlouhovlnným" zářením (193nm) nasvěcují motivy mnohem menší, než je
>>     délka vlny?
>>
>>     PL
>>
>>     *********************
>>
>>     Dne 4.1.2022 v 0:43 Jan Waclawek napsal(a):
>>
>>         Detaily nepoznam, ale ono to musi byt predovsetkym prisne
>>         monochromaticke, tie masky su interferencne. Aj RTG ziarenie,
>>         ak ma byt pouzitelne na rozne merania, tak sa negeneruje
>>         lampou ale cyklotronom. wek On 4 January 2022 00:30:25 CET,
>>         Petr Labaj <labaj na volny.cz> wrote: Když už je tu ta řeč o
>>         RTG... Viděl jsem pěkné video o generování a použití EUV
>>         záření 13.5nm pro výrobu polovodičů.
>> https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt
>> <https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt>
>> <https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt
>> <https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt>>
>>         Šílený kombajn za strašné prachy, umí to udělat jediná firma
>>         na světě. CO2 laserem produkují plazmu z cínových kuliček,
>>         účinnost pár procent. RTG je ještě kratší záření, které začíná
>>         už celkem nedaleko těch 13.5nm (za hranici se myslím považuje
>>         10nm). To opravdu není možné udělat rentgenku, která by
>>         svítila na trochu delší vlnové délce a generovala to EUV
>>         přímo? Je tam nějaká fyzikální bariéra proč to není možné?
>>         Díky za případnou osvětu. PL
------------- další část ---------------
HTML příloha byla odstraněna...
URL: <http://list.hw.cz/pipermail/hw-list/attachments/20220104/be0527c5/attachment-0001.htm>
------------- další část ---------------
A non-text attachment was scrubbed...
Name: Vbfw2fNI3Y8a1AvU.png
Type: image/png
Size: 146264 bytes
Desc: [žádný popis není k dispozici]
URL: <http://list.hw.cz/pipermail/hw-list/attachments/20220104/be0527c5/attachment-0001.png>