<html>
<head>
<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8">
</head>
<body>
V rtg difraktometrii (XRD) se běžnÄ› pouĹľĂvajĂ rĹŻznĂ© monochromátory,
je to docela zajĂmavá technologie. V tom bych problĂ©m nevidÄ›l.<br>
<br>
Ale je dobré si uvědomit, že účinnost rengenky se dramaticky
zhoršuje s klesajĂcĂm napÄ›tĂm, normálnÄ› je to s U^2. TakĹľe napĹ™.
rengenky na XRD vyuĹľĂvajĂcĂ pĂky molybdenu na 17 a 19 keV je vhodnĂ©
napájet 30-80 kV. Ale u menšĂch napÄ›tĂ je ještÄ› nÄ›jakĂ˝ dalšà jev,
takĹľe kdyĹľ na rengenu nastavĂte tĹ™eba 16 kV, neleze z nÄ›j skoro nic,
i kdyĹľ má Be okĂ˝nko, kterĂ˝m by i pár keV mÄ›lo v pohodÄ› projĂt.<br>
<br>
Jinak ta účinnost je cekově nic moc. Mějme třeba W:<br>
<img src="cid:part1.zqupwqfx.p8dR78IA@seznam.cz" alt=""><br>
<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://slidetodoc.com/xrays-ouch-1-xrays-xrays-are-produced-when/">https://slidetodoc.com/xrays-ouch-1-xrays-xrays-are-produced-when/</a><br>
<br>
No a EUV oblast, to je tak 10-100 eV. Zjednodušeně vzato, by to měla
v pohodě generovat každá běžná elektronka při pár stovkách V, což by
následnÄ› fotoefektem generovalo elektrony na mĹ™ĂĹľkách i anodÄ› a taky
ničilo sklo. V reálu se to ale neděje.<br>
<br>
SamozĹ™ejmÄ›, parazitnÄ› bude EUV vznikak v rengence pĹ™i normálnĂch
napÄ›tĂch, ale moc si nedovedu pĹ™edstavit, co by pak zlikvidovalo X a
propustilo EUV.<br>
<br>
PH<br>
<br>
<div class="moz-cite-prefix">Dne 04.01.2022 v 1:21 Petr Labaj
napsal(a):<br>
</div>
<blockquote type="cite"
cite="mid:a8372cbe-b13c-690f-d836-26eaa4953813@volny.cz">Aha.
<br>
Pak už to s tou nepoužitelnostà rentgenky dává smysl.
<br>
Děkuji.
<br>
<br>
PL
<br>
<br>
*******************
<br>
<br>
Dne 4.1.2022 v 1:14 Jan Waclawek napsal(a):
<br>
<blockquote type="cite">Tie EUV masky su interferencne inak -
ciara je tu sice vacsia ako vlnova dlzka, ale masky su
reflektivne a tvorene Braggovym zrkadlom, co je viacvrstvova
struktura ktora sa vdaka interferencii sprava ako zrkadlo.
<br>
<br>
Neviem preco sa nepouzivaju kovove zrkadla.
<br>
<br>
wek
<br>
<br>
On 4 January 2022 01:09:56 CET, Petr Labaj
<a class="moz-txt-link-rfc2396E" href="mailto:labaj@volny.cz"><labaj@volny.cz></a> wrote:
<br>
<br>
   DĂky za odpověď.
<br>
   Ale nepouĹľĂvajĂ se ty interferenÄŤnĂ masky jen pro ty
technologie, kdy se
<br>
   "dlouhovlnnĂ˝m" zářenĂm (193nm) nasvÄ›cujĂ motivy mnohem
menšĂ, neĹľ je
<br>
   délka vlny?
<br>
<br>
   PL
<br>
<br>
   *********************
<br>
<br>
   Dne 4.1.2022 v 0:43 Jan Waclawek napsal(a):
<br>
<br>
       Detaily nepoznam, ale ono to musi byt predovsetkym
prisne
<br>
       monochromaticke, tie masky su interferencne. Aj RTG
ziarenie,
<br>
       ak ma byt pouzitelne na rozne merania, tak sa negeneruje
<br>
       lampou ale cyklotronom. wek On 4 January 2022 00:30:25
CET,
<br>
       Petr Labaj <a class="moz-txt-link-rfc2396E" href="mailto:labaj@volny.cz"><labaj@volny.cz></a> wrote: Když už je tu
ta řeč o
<br>
       RTG... Viděl jsem pěkné video o generovánà a použità EUV
<br>
       zářenà 13.5nm pro výrobu polovodičů.
<br>
      Â
<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt">https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt</a>
<br>
      Â
<a class="moz-txt-link-rfc2396E" href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt"><https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt></a><br>
      Â
<<a class="moz-txt-link-freetext" href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt">https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt</a>
<br>
      Â
<a class="moz-txt-link-rfc2396E" href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt"><https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt></a>><br>
       ŠĂlenĂ˝ kombajn za strašnĂ© prachy, umĂ to udÄ›lat jediná
firma
<br>
       na svÄ›tÄ›. CO2 laserem produkujĂ plazmu z cĂnovĂ˝ch
kuliÄŤek,
<br>
       účinnost pár procent. RTG je ještÄ› kratšà zářenĂ, kterĂ©
zaÄŤĂná
<br>
       uĹľ celkem nedaleko tÄ›ch 13.5nm (za hranici se myslĂm
povaĹľuje
<br>
       10nm). To opravdu nenà možné udělat rentgenku, která by
<br>
       svĂtila na trochu delšà vlnovĂ© dĂ©lce a generovala to EUV
<br>
       pĹ™Ămo? Je tam nÄ›jaká fyzikálnĂ bariĂ©ra proÄŤ to nenĂ
možné?
<br>
       DĂky za pĹ™Ăpadnou osvÄ›tu. PL
      <br>
</blockquote>
</blockquote>
<br>
</body>
</html>