vyroba ledek

[Jan Waclawek]

Ono je dost vyrazny rozdiel medzi gramofonom, hoc aj klasikou na 78 otacok,
a 

The spin coating typically runs at 1200 to 4800 rpm...
(http://en.wikipedia.org/wiki/Photolithography)

Okrem toho je ta alchymia este aj vo viskozite (teplota, zlozenie/riedenie
rezistu) a adhezii (cistota a rovnomernost povrchu).

"Antireflexne" vrstvy su problematicke kvoli viacerym faktorom - volba
materialov kvoli indexu lomu aj teplotnej roztaznosti, cena,
problematickejsie leptanie aj kontaktovanie, cena, potreba vysokej
presnosti hrubky po celej ploche waferu, cena, komplikovana priprava,
cena...

wek



>Kapnuti a roztoceni (nebo naopak?) funguje i u rezistu pro výrobu IO.
>Alespon v 6'' fabrice to tak bylo. Je tam alchymie kolem otacek a
>mnozstvi...
>PK
>Dne 1.7.2013 1:05 "Vláïa Andìl" <vaelektronik at vaelektronik.cz> napsal(a):
>
>>  koukal jsem na video jak se dìlají ledky
>> http://www.osram-os.com/osram_os/en/tools-%26-services/videos/index.jsp
>> docela mì tam pøekvapily dvì vìci.
>>
>> Nalití fotorezistu na roztoèenou desku - za dob elektronického pravìku
>> jsme na starém gramofonu lili rezist na tišáky a nìjak moc se nedaøilo,
>> aby uprostøed a u kraje byla síla vrstvy stejná. Èekal jsem nìjakou úplnì
>> jinou metodu. Toho rezistu tam nalili docela dost - no asi se tam
>> nekopírují takové detaily, jako i IC.
>>
>> Za dob kdy jsem studoval a dìlal diplomku o ledkách, se øešil problém s
>> velkým indexem lomu toho polovodièe. Hodnì svìtla, které v ledce vzniklo,
>> nevyšlo ven, protože vyšlo pod takovým úhlem, kdy se už od rozhraní
>> polovodiè - èoèka totálnì odráželo zpìt do polovodièe. Tehdy se vymýšlely
>> rùzné antireflexní vrstvy. Teï se povrch polovodièe zdrsní a údajnì to
>> funguje. Nechápu...