Predloha pro negativni rezist
Lukas Burda
burdal1 na post.cz
Úterý Prosinec 27 23:56:41 CET 2011
> No vida. Nic v tom není :-). Ty chyby jsou typické - v těch místech
> zůstal nepatrný (skoro průhledný) závoj fotorezistu. Když člověk neví co
> hledat přehlédne to. Způsobené je to buď krátkou expozicí nebo
> předčasným vyjmutím z vývojky případně kombinací obou vlivů. Když je
> toho takto malý kousek lze to opravit odškrábnutím před leptáním.
Ten zavoj resim jemnym steteckem, kterym to presmrdlam ke konci
"vyvolavani". Radne osviceny fotorezist to nema sanci znicit a tenhle
zavoj krasne zmizi.
L.
Další informace o konferenci Hw-list