<html><head></head><body>Tie EUV masky su interferencne inak - ciara je tu sice vacsia ako vlnova dlzka, ale masky su reflektivne a tvorene Braggovym zrkadlom, co je viacvrstvova struktura ktora sa vdaka interferencii sprava ako zrkadlo.<br><br>Neviem preco sa nepouzivaju kovove zrkadla.<br><br>wek<br><br><div class="gmail_quote">On 4 January 2022 01:09:56 CET, Petr Labaj <labaj@volny.cz> wrote:<blockquote class="gmail_quote" style="margin: 0pt 0pt 0pt 0.8ex; border-left: 1px solid rgb(204, 204, 204); padding-left: 1ex;">
<pre dir="auto" class="k9mail">Díky za odpověď.<br>Ale nepoužívají se ty interferenční masky jen pro ty technologie, kdy se <br>"dlouhovlnným" zářením (193nm) nasvěcují motivy mnohem menší, než je <br>délka vlny?<br><br>PL<br><br>*********************<br><br>Dne 4.1.2022 v 0:43 Jan Waclawek napsal(a):<br><blockquote class="gmail_quote" style="margin: 0pt 0pt 1ex 0.8ex; border-left: 1px solid #729fcf; padding-left: 1ex;"> Detaily nepoznam, ale ono to musi byt predovsetkym prisne <br> monochromaticke, tie masky su interferencne.<br><br> Aj RTG ziarenie, ak ma byt pouzitelne na rozne merania, tak sa <br> negeneruje lampou ale cyklotronom.<br><br> wek<br><br> On 4 January 2022 00:30:25 CET, Petr Labaj <labaj@volny.cz> wrote:<br><br> Když už je tu ta řeč o RTG...<br><br> Viděl jsem pěkné video o generování a použití EUV záření 13.5nm pro<br> výrobu polovodičů.<br> <a href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt">https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt</a> <<a href="https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt">https://www.youtube.com/watch?v=5Ge2RcvDlgw&feature=emb_imp_woyt</a>><br> Šílený kombajn za strašné prachy, umí to udělat jediná firma na světě.<br> CO2 laserem produkují plazmu z cínových kuliček, účinnost pár procent.<br><br> RTG je ještě kratší záření, které začíná už celkem nedaleko těch 13.5nm<br> (za hranici se myslím považuje 10nm).<br> To opravdu není možné udělat rentgenku, která by svítila na trochu delší<br> vlnové délce a generovala to EUV přímo?<br> Je tam nějaká fyzikální bariéra proč to není možné?<br><br> Díky za případnou osvětu.<br> PL<hr> HW-list mailing list - sponsored by www.HW.cz<br> Hw-list@list.hw.cz<br> <a href="http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list">http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list</a><hr> HW-list mailing list - sponsored by www.HW.cz<br> Hw-list@list.hw.cz<br> <a href="http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list">http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list</a><br></blockquote><hr>HW-list mailing list - sponsored by www.HW.cz<br>Hw-list@list.hw.cz<br><a href="http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list">http://list.hw.cz/mailman/listinfo/hw-list</a><br><br></pre></blockquote></div></body></html>