35 rokov - porovnanie procesorov

[Jan Waclawek]

>> Elektronova (plosna) a rontgenova litografia, co sme sa
>> ucili, ze je hudba buducnosti, sa zda ze je este stale hudba
>> buducnosti...
>> 
>Myslim, ze elektronova litografia sa uz bezne pouziva. Ak sa
>pozries napriklad na
>http://www.fabtech.org/content/view/65573/132/ tak inzeruju
>rezist pre 6nm e-beam litografiu. Ale mozno som nieco pochopil
>zle, v tomto uz vobec niesom doma.

No, ona sa bezne pouzivala uz aj za tych "mojich cias", ale nie v masovej vyrobe. Napriklad sa tak robia masky... Alebo prototypy.

Problem je v tom, ze "ciarova" litografia (t.j. cmaranie fokusovanym lucom podobne ako u vektorovej obrazovky) je priserne pomala - cela pointa stlacenia ceny sucasnou expoziciou sa tym strati. Pokusy so sucasnym cmaranim viacerymi lucami (rovnaky motiv na roznych cipoch jedneho wafera) narazaju na rozne problemy elektronovej optiky, a na expoziciu "rozplaznutym" lucom zasa zatial nie su vhodne masky (resp. pred tymi x rokmi neboli) a je tam aj problem s nabijanim rezistu a naslednym odpudzovanim dalsich elektonov, co kazi rozlisovacku (vlastne ani neviem ako sa to vybijanie riesi u toho klasickeho luca). Mozno toto vsetko uz nie je aktualne, ako vravim, som mimo; ale faktom je ze v masovke sa este stale svieti UV.

wek